Welt der Physik: Atomic Layer Deposition https://www.weltderphysik.de/gebiet/materie/duenne-schichten-und-oberflaechen/atomic-layer-deposition/
Weniger ist häufig mehr – insbesondere wenn es um die Erzeugung kleinster Strukturen für High-Tech-Anwendungen geht. Das Verfahren der Atomlagenabscheidung ist ein gutes Beispiel dafür. Denn in Atomlagen abzuscheiden bedeutet, die kleinst mögliche Menge einer chemischen Beschichtung zu nutzen.
und Vielseitigkeit ein unverzichtbares Fertigungsverfahren auf der Nanoskala und wird
