Referenzmaterialien und Referenzstrukturen – PTB.de https://www.ptb.de/cms/forschung-entwicklung/themenbereiche-der-metrologie/nanometrologie/referenzmaterialien-und-referenzstrukturen.html
Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, ist das nationale Metrologie-Institut mit wissenschaftlich-technischen Dienstleistungsaufgaben. Sie misst mit höchster Genauigkeit und Zuverlässigkeit – Metrologie als Kernkompetenz.
Bei der Top-Down-Methode wird aus einer Ausgangsstruktur Material abgetragen, bis
