Neue Methode für die Messung von Strukturbreiten mit atomarer Auflösung – PTB.de https://www.ptb.de/cms/presseaktuelles/zeitschriften-magazine/ptb-news/ptb-news-ausgaben/archivederptb-news/ptb-news-2013-3/neue-methode-fuer-die-messung-von-strukturbreiten-mit-atomarer-aufloesung.html
Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, ist das nationale Metrologie-Institut mit wissenschaftlich-technischen Dienstleistungsaufgaben. Sie misst mit höchster Genauigkeit und Zuverlässigkeit – Metrologie als Kernkompetenz.
gemessen an einer Gruppe von 5 Linienmerkmalen   Der Begriff „Critical Dimension“ (CD) wird
