Planarisierung – PTB.de https://www.ptb.de/cms/ptb/fachabteilungen/abt2/fb-24/ag-242/herstellung-242/planarisierung-242.html
Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, ist das nationale Metrologie-Institut mit wissenschaftlich-technischen Dienstleistungsaufgaben. Sie misst mit höchster Genauigkeit und Zuverlässigkeit – Metrologie als Kernkompetenz.
Niob Trilayer-Technik mit "CMP" Planarisierung Bei dieser Technik wird das "Spin-on
