4.23 Optische Nanometrologie – PTB.de https://www.ptb.de/cms/ptb/fachabteilungen/abt4/fb-42/ag-423.html
Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, ist das nationale Metrologie-Institut mit wissenschaftlich-technischen Dienstleistungsaufgaben. Sie misst mit höchster Genauigkeit und Zuverlässigkeit – Metrologie als Kernkompetenz.
Messverfahren zur Charakterisierung von Strukturen mit Dimensionen, welche sehr viel
