Heft 2: Nanometrologie – PTB.de https://www.ptb.de/cms/presseaktuelles/zeitschriften-magazine/ptb-mitteilungen/verzeichnis-der-ptb-mitteilungen/ptb-mitteilungen-2011/heft-2-nanometrologie.html
Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, ist das nationale Metrologie-Institut mit wissenschaftlich-technischen Dienstleistungsaufgaben. Sie misst mit höchster Genauigkeit und Zuverlässigkeit – Metrologie als Kernkompetenz.
Nach der Entwicklung des Photolackes werden in weiteren Schritten wie Ätz- oder Beschichtungsprozessen
