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Welt der Physik: Atomic Layer Deposition

https://www.weltderphysik.de/gebiet/materie/duenne-schichten-und-oberflaechen/atomic-layer-deposition/

Weniger ist häufig mehr – insbesondere wenn es um die Erzeugung kleinster Strukturen für High-Tech-Anwendungen geht. Das Verfahren der Atomlagenabscheidung ist ein gutes Beispiel dafür. Denn in Atomlagen abzuscheiden bedeutet, die kleinst mögliche Menge einer chemischen Beschichtung zu nutzen.
Halbleiterschicht des Transistors durch das Oxid elektrisch voneinander getrennt sind, muss

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