Großes Reflektometer für die EUV-Lithographie – PTB.de https://www.ptb.de/cms/presseaktuelles/zeitschriften-magazine/ptb-news/ptb-news-ausgaben/archivederptb-news/news03-1/grosses-reflektometer-fuer-die-euv-lithographie.html
Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, ist das nationale Metrologie-Institut mit wissenschaftlich-technischen Dienstleistungsaufgaben. Sie misst mit höchster Genauigkeit und Zuverlässigkeit – Metrologie als Kernkompetenz.
Um diese Spiegel mit Abmessungen bis zu 50 cm und einem Gewicht von bis zu 50 kg