Plasmachemische Niedertemperaturoxidation von Silicium-Germanium-Schichten https://www.jugend-forscht.de/index.php?id=262&tx_smsjufoprojects_smsjufprojectdb%5Bproject%5D=2738&tx_smsjufoprojects_smsjufprojectdb%5Baction%5D=show&tx_smsjufoprojects_smsjufprojectdb%5Bcontroller%5D=Project&cHash=314adc2990b491465337aab697f6db1b
könnten diese Transistoren noch schneller machen, weisen bei Oxidationsprozessen aber
