Welt der Physik: Atomic Layer Deposition https://www.weltderphysik.de/gebiet/materie/duenne-schichten-und-oberflaechen/atomic-layer-deposition/
Weniger ist häufig mehr – insbesondere wenn es um die Erzeugung kleinster Strukturen für High-Tech-Anwendungen geht. Das Verfahren der Atomlagenabscheidung ist ein gutes Beispiel dafür. Denn in Atomlagen abzuscheiden bedeutet, die kleinst mögliche Menge einer chemischen Beschichtung zu nutzen.
Technisch werden solche ALD-Zyklen je nach Material in einer Reaktionskammer bei einem Vakuum