Welt der Physik: Dünne Schichten aus Siliziumnitrid: Elegant um die Ecke gebrochen https://www.weltderphysik.de/gebiet/materie/nachrichten/2012/duenne-schichten-aus-siliziumnitrid-elegant-um-die-ecke-gebrochen/
Kontrollierte Brüche legen Basis für neues, günstiges Verfahren zur Produktion filigraner Nanostrukturen.
Selbst um die Ecke und in Stufen lassen sich diese Risse steuern, wie sie in der