Mikro-Elektro-Mechanisches System – PTB.de https://www.ptb.de/cms/ptb/fachabteilungen/abt5/fb-51/ag-511/antastverfahren0/mems0.html
Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin, ist das nationale Metrologie-Institut mit wissenschaftlich-technischen Dienstleistungsaufgaben. Sie misst mit höchster Genauigkeit und Zuverlässigkeit – Metrologie als Kernkompetenz.
Fig. 6 shows typical cantilever calibration curves, in which (a) and (b) are for
